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薄膜應力測量系統的原理是怎樣的?

 更新時(shí)(shí)間:2024-04-25 點(diǎn)(diǎn)擊量:210
  在硅片等基板上附膜時(shí)(shí),由于基板和薄膜的物理定數有異,產(chǎn)(chǎn)生應力,進(jìn)(jìn)而引起基板變形。由涂抹均勻的薄膜引起的變形的表現為基板的翹曲,而薄膜應力測量系統可從這個(gè)(gè)翹曲(曲率半徑)的變化量測量其應力。
  薄膜應力測量系統是一種用于物理學(xué)(xué)、材料科學(xué)(xué)領(lǐng)(lǐng)域的工藝試驗儀器。其工作原理基于薄膜材料的內應力對薄膜表面形態(tài)(tài)的影響。當薄膜被沉積在基底表面上時(shí)(shí),薄膜材料的內應力會(huì )(huì )對薄膜表面的形態(tài)(tài)產(chǎn)(chǎn)生影響,而薄膜應力測量系統則通過(guò)(guò)測量薄膜表面形態(tài)(tài)的變化來(lái)(lái)間接反映薄膜材料內部應力的大小、方向和分布狀況。
  薄膜應力測量系統的發(fā)(fā)展方向包括提高測量精度、實(shí)(shí)時(shí)(shí)監測薄膜應力的變化、多參數測量、無(wú)(wú)損測量、智能化以及跨學(xué)(xué)科合作。隨著(zhù)(zhù)技術(shù)(shù)的進(jìn)(jìn)步,薄膜應力測量系統將在更多領(lǐng)(lǐng)域得到應用,并為薄膜材料的研究和應用提供有力支持。
  本公司提供的薄膜應力測量系統主要特點(diǎn)(diǎn):
  1.程序化控制掃描模式:?jiǎn)吸c(diǎn)(diǎn)掃描、選定區域、多點(diǎn)(diǎn)線(xiàn)(xiàn)性?huà)咼?、全樣品積掃描;
  2.成像功能:樣品表面2D曲率成像,定量薄膜應力2D成像分析;
  3.測量功能:薄膜應力、翹曲、曲率半徑等;
  4.支持變溫熱應力測量功能;
  5.薄膜殘余應力測量。
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